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同飛股份(300990.SZ):半導體器件制造設備專用溫控設備主要應用于刻蝕、PVD、CVD等半導體器件加工工藝過程


【資料圖】

格隆匯8月16日丨有投資者向同飛股份(300990.SZ)提問,“公司參加了十一屆(2023年)半導體設備材料與核心部件展示會,會上表示,公司2022年開始布局半導體行業(yè),公司的產(chǎn)品能應用于半導體行業(yè)的刻蝕設備、涂布顯影設備、試驗機等應用場景。請簡單介紹一下,公司的什么產(chǎn)品能應用于半導體行業(yè),以及公司產(chǎn)品在半導體行業(yè)應用的優(yōu)勢在哪里?”

同飛股份回復稱,公司的半導體器件制造設備專用溫控設備是針對其高精度、高可靠性而設計開發(fā)的專用設備,能夠不間斷的提供溫度可控的循環(huán)液,保障半導體器件制造設備腔室所需的工藝加工溫度,滿足溫度變化范圍大、負載瞬間變化、設定溫度隨時改變等工況要求,能夠達到±0.1℃甚至更高溫控精度,主要應用于刻蝕、PVD、CVD等半導體器件加工工藝過程。

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