射頻(縮寫為RF),又稱無線電頻率、無線射頻、高周波,為在3kHz至300GHz這個范圍內(nèi)的震蕩頻率,相當于無線電波的頻率,以及攜帶著無線電信號的交流電的頻率。而射頻電源,是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波電壓、頻率在射頻范圍內(nèi)、具有一定功率的電源,應用領域廣闊,市場應用需求巨大。
作為等離子體的配套電源,射頻電源是由射頻功率源、阻抗匹配器、阻抗功率計共同組成,市場最早是在上世紀八十年末期發(fā)展起步的,經(jīng)過長時間的發(fā)展,現(xiàn)階段我國射頻電源在制作工藝上、產(chǎn)品質(zhì)量上有著很大提升,主要應用于射頻濺射、PECVD化學氣相沉積、反應離子刻蝕等設備中,涉及到醫(yī)療、美容、無線通信、半導體工藝、消毒設備等多個領域。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2021-2025年射頻電源行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報告》顯示,近年來,隨著下游市場的快速發(fā)展,特別是國內(nèi)半導體、光伏設備行業(yè)規(guī)模的擴大,使得市場對射頻電源的應用需求也隨之增加,進而推動整個射頻電源市場規(guī)模的增長。
就目前來看,我國射頻電源技術與歐美部分發(fā)達國家相比仍存在著較大差距,產(chǎn)品種類也相對單一,且生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量較少,使用的射頻電源功率放大器多為傳統(tǒng)的電子管,國外核心生產(chǎn)技術尚未完全掌握。因此,在未來,我國本土射頻電源生產(chǎn)企業(yè)要追上并超越國外同類企業(yè),還需要在生產(chǎn)技術和產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新方面下功夫。
上海伊恩埃半導體科技股份有限公司是國內(nèi)專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、組裝半導體級別射頻發(fā)生器(RF Generator)、射頻匹配器( RF Match)、射頻組件的頭部企業(yè)。坐落于上海松江經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū),擁8000多㎡獨立研發(fā)生產(chǎn)中心,經(jīng)過不懈努力,獲得2022中國互聯(lián)網(wǎng)發(fā)展創(chuàng)投大賽一等獎。
研發(fā)團隊2000年成立,23年間,上海伊恩埃半導體科技股份有限公司致力于“射頻電源國產(chǎn)化”,目前已取得擁有40多項國家發(fā)明專利和PCT國際專利。
精研技術發(fā)展,打磨生產(chǎn)規(guī)劃,上海伊恩埃半導體科技股份有限公司實現(xiàn)了研發(fā)、生產(chǎn)、工程相互賦能、協(xié)同發(fā)展,在業(yè)內(nèi)擁有“專業(yè)化水平高、輸出性能穩(wěn)定”的贊譽,是半導體設備制造企業(yè)的核心零部件供應商。
上海伊恩埃半導體科技股份有限公司射頻電源采用了先進的高效率高穩(wěn)定性的射頻技術。這種技術能有效地減少功率耗損,提高設備的壽命。
產(chǎn)品特點
全數(shù)字控制
脈沖射頻輸出和節(jié)能
轉換效率達到國際領先水平,環(huán)保節(jié)能
預防性故障報警,降低故障率
數(shù)據(jù)開放,客戶自主矯正
擁有完善總線通訊設計,兼容主流工業(yè)通訊網(wǎng)絡
標準化設計,降低產(chǎn)品的使用成本
科技感的外觀設計,簡約時尚
應用領域
可作為射頻驅動等離子體系統(tǒng)的電源,應用對象包括ETCH刻蝕工藝、IMP離子注入、CVD化學相沉積、ASHER等離子去膠機、PVD物理氣相沉積等。
未來,上海伊恩埃半導體科技股份有限公司也將繼續(xù)在半導體行業(yè)發(fā)揮重要作用,為中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入新的動力。
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